Pfeiffer Vacuum stellt neue Turbopumpe HiPace 2800 IT für Ionenimplantationsprozesse vor
Pfeiffer Vacuum Turbopumpe HiPace 2800 IT. (Bildquelle: Pfeiffer Vacuum)
Die durchdachte Rotorkonstruktion der Turbopumpe führt zu einem optimierten Saugvermögen für leichte Gase. Dies gewährleistet eine sehr gute Prozessanpassung für Ionenimplantationsprozesse, bei denen insbesondere Wasserstoff entsteht. Mit einem Saugvermögen von 2.600 l/s für Wasserstoff ist die neue HiPace 2800 IT die beste Turbopumpe ihrer Klasse.
Das intelligente Temperaturmanagementsystem verhindert Prozesskondensation und -ablagerungen innerhalb des Pumpsystems. Es ermöglicht die individuelle Einstellung der Temperatur, um den Prozess optimal zu unterstützen. Die spezielle Beschichtung des Rotors gewährleistet die Beständigkeit gegenüber allen Materialien für Ionenimplantationsprozesse. Basierend auf einem sogenannten Hybridlager, einer Kombination aus Keramikkugellagern auf der Vorvakuumseite und permanentmagnetischen Radiallagern auf der Hochvakuumseite, zeichnen sich diese HiPace-Turbopumpen durch eine besonders robuste Lagerausführung aus. Zusammen mit der speziellen Rotorbeschichtung bildet dies die Grundlage für die lange Prozesslebensdauer und Zuverlässigkeit der Pumpen.
Quelle: Pfeiffer Vacuum GmbH
