Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions präsentiert neue Turbomolekular-Vakuumpumpe
Die neue Turbomolekular-Vakuumpumpe ATH M 4506. (Bildquelle: Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions)
Mit einem Saugvermögen von 4.500 l/s für Stickstoff eignet sich die neue Turbopumpe für Prozesse in der Halbleiterproduktion, der Großflächenbeschichtung und anderen Anwendungen, bei denen ein hoher Gasdurchsatz erforderlich ist, etwa bei der Evakuierung großer Vakuumkammern für die Weltraumsimulation.
Plug&Play-Betrieb mit integriertem Controller
Die ATH 4506 M verfügt über einen integrierten Controller, der separate externe Steuereinheiten überflüssig macht, die Installation vereinfacht und den für das Systemsetup benötigten Platz reduziert. In nur neun Minuten erreicht die Vakuumpumpe ihre volle Drehzahl von 23.500 Umdrehungen pro Minute (U/Min), sodass Herstellungsprozesse schnell anlaufen können. Ein Energiesparmodus senkt die Leistungsaufnahme bei Inaktivität und trägt so zu einem energieeffizienten Betrieb bei.
Auf die Prozessanforderungen abgestimmtes Temperaturmanagement
Je nach Prozessbedingungen sind unterschiedliche Betriebstemperaturen erforderlich. Aus diesem Grund ist die ATH 4506 M in zwei Ausführungen erhältlich:
- Eine unbeheizte Variante für saubere, korrosionsfreie Anwendungen, die keine zusätzliche Heizung benötigen – zum Beispiel in der Großflächenbeschichtung.
- Eine Ausführung mit einem Temperaturmanagementsystem (TMS) bis 90 °C für die Halbleiterproduktion und andere korrosive Prozesse, bei denen eine moderate Beheizung Kondensation und Partikelbildung verhindert.
Indem sie die Temperatur der Vakuumpumpe an den Prozess anpasst, minimiert die ATH 4506 M Kondensation und Partikelansammlungen im Pumpeninneren, reduziert den Verschleiß interner Bauteile und verhindert ungeplante Stillstandszeiten. Dies führt zu höherer Zuverlässigkeit, konstanter Produktqualität und niedrigeren Gesamtbetriebskosten für den Nutzer.
Zustandsüberwachung und digitale Integration
Die ATH 4506 M ist mit internen Sensoren zur Überwachung von Temperatur, Spülbedingungen, Drehzahl und außeraxialer Bewegung ausgestattet. Anhand dieser Messungen kann der Betreiber den Zustand der Vakuumpumpe in Echtzeit überwachen und so Unregelmäßigkeiten frühzeitig erkennen. Dies hilft, ungeplante Stillstandszeiten zu vermeiden, und erleichtert die vorausschauende Wartung. Da die Vakuumpumpe IoT-fähig ist, kann sie an digitale Überwachungssysteme angeschlossen und somit in automatisierte Produktionsumgebungen integriert werden.
Mit der Schutzart IP54 ist die Vakuumpumpe gegen Staub und Spritzwasser geschützt. Dies erhöht ihre Widerstandsfähigkeit in anspruchsvollen Industrieumgebungen und verlängert ihre Lebensdauer.
Quelle: Pfeiffer Vacuum GmbH
