Pfeiffer Vacuum présente une nouvelle turbopompe pour les applications d’implantation ionique HiPace 2800 IT

23.11.2020
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Avec le HiPace 2800 IT, Pfeiffer Vacuum présente une turbopompe spécialement dédiée aux applications d'implantation ionique.
Pfeiffer Vacuum présente une nouvelle turbopompe pour les applications d’implantation ionique HiPace 2800 IT

Turbopompes à vide Pfeiffer HiPace 2800 IT. (Source de l'image: Pfeiffer Vacuum)

La conception sophistiquée du rotor de la turbopompe se traduit par une vitesse de pompage optimisée pour les gaz légers. Cela garantit une très bonne adaptation du processus pour les processus d'implantation ionique, où l'hydrogène est le gaz le plus accumulé. Avec une vitesse de pompage de 2600 l / s pour l'hydrogène, la nouvelle HiPace 2800 IT est la meilleure turbopompe de sa catégorie.

Le système intelligent de gestion de la température empêche la condensation du processus et le dépôt à l'intérieur du système de pompage. Il permet de régler la température individuellement pour soutenir idéalement le processus. Le revêtement spécial du rotor assure la robustesse contre tous les matériaux du processus d'implantation ionique. Basées sur un roulement dit hybride, une combinaison de roulements à billes en céramique côté vide avant et de roulements radiaux magnétiques permanents côté vide poussé, ces turbopompes HiPace ont une conception de roulement particulièrement robuste. Associé au revêtement efficace, il constitue la base du long cycle de vie et du temps de fonctionnement maximal des pompes.

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