Entleerungsanschluss für Vakuumpumpen-Einlassabscheider unterstützt Filtration von ALD-Prozessen

24.01.2023
Mass-Vac, Inc. mit Sitz in North Billerica im US-Bundesstaat Massachusetts hat eine neue Entleerungsanschlussoption für das Einlassrohr des Unterdruck-Einlassabscheiders von Halbleiterwafer-Fertigungsanlagen mit ALD-Technologie (Atomic Layer Deposition) auf den Markt gebracht.
Entleerungsanschluss für Vakuumpumpen-Einlassabscheider unterstützt Filtration von ALD-Prozessen

Entleerungsanschluss für Vakuumpumpen-Einlassabscheider unterstützt Filtration von ALD-Prozessen. (Bildquelle: Mass-Vac, Inc.)

Der MV MultiTrap Vakuumeinlassabscheider für ALD-Prozesse kann nun mit einem Entleerungsanschluss im Einlassrohr des Abscheiders ausgestattet werden. Ein integriertes Nadelventil ermöglicht den Eintritt von Umgebungsluft in das Einlassrohr, um eine Reaktion zwischen den TMA- und H2O-Präkursoren auszulösen. Die Reaktion erzeugt ein festes AL2O3-Pulver, das von einem langen einstufigen Edelstahl-Gazefilter aufgenommen wird. Dieser Prozess hat sich beim Austragen großer Volumina von festen Nebenprodukten als äußerst wirksam erwiesen.

Die MV MultiTrap Vakuumeinlassabscheider mit Entleerungsanschluss sind vollständig aus Edelstahl 1.4301 (AISI 304) ausgeführt und verfügen über eine Vorstufe mit großer Filterkapazität. Sie sind in Durchmessern von 304,8 mm und 406,4 mm (12 Zoll und 16 Zoll) erhältlich und bieten Ein- und Auslassanschlüsse mit Flanschen gemäß NW-50, ISO-80, ISO-100 und ISO-160. Der Entleerungsanschluss ist in Flanschgrößen von NW-10 und NW-16 erhältlich.

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