Edwards neue Turbomolekular-Vakuumpumpe mit hoher Kapazität bietet optimierte Leistungswerte
Edwards verkündet die Einführung seiner STP-iXA4506 Turbomolekularpumpe (TMP) mit hoher Kapazität. Sie wurde konzipiert für Hersteller von Halbleitern, Flachbildschirmen, LEDs und Solarpanelen.
Neue Turbomolekularpumpe (TMP) STP-iXA4506 (Foto: Edwards)
„Die neue STP-iXA4506 Turbopumpe ist die ideale Komplettlösung mit optimierter Pumpleistung”, so Shinichi Yoshino, TMP Product Marketing Manager bei Edwards. „Sie kombiniert modernstes Rotordesign von Edwards mit dem bewährten, hochzuverlässigem, integrierten Controller aus der iXA Baureihe, um den zulässigen Gasdurchsatz zu maximieren und somit die Anzahl der für strömungsintensive Verfahren benötigten Pumpen zu minimieren, insbesondere bei Solar- und Flachbildschirmanwendungen. Der vollständig integrierte Controller macht Kabel und separates Controller-Rack überflüssig, reduziert somit Kosten und erleichtert und beschleunigt durch seine kompakte Bauweise die Installation für eine Vielzahl von Anwendungen. Darüber hinaus werden, wie bei allen magnetisch gelagerten Turbopumpen, die Kosten für regelmäßige Wartungen nahezu vollständig eliminiert.”
Die hohe Geschwindigkeit (4300 l/s N2) und der Durchsatz von (bis zu 4300 sccm N2) in Kombination mit seiner Fähigkeit, sowohl Leicht- als auch Schwergase effizient abpumpen zu können, läßt die STP-iXA4506 als ideale Pumpe für eine Vielzahl von strömungs- und kapazitätsintensiven Anwendungen erscheinen. Hierzu gehören Halbleiter- und LCD-Ätzung, Glasbeschichtung, Fertigung von Dünnschichtsolarzellen und Beschichtung durch physikalische Gasphasenabscheidung. Ihre integrierte Architektur schließt ein vollständig versiegeltes Elektronikmodul für einen stabilen und zuverlässigen Betrieb selbst unter schwierigsten Produktionsbedingungen ein. Falls erforderlich, kann eine Ergänzung in Form eines thermischen Managementsystems erfolgen, um die Anhäufung von Partikeln und Ablagerungen aufgrund von Prozessnebenprodukten unterbinden zu können.
Quelle: Edwards Germany GmbH
