Seitenkanalpumpe SRZS inside: Förderlösung für ammoniakhaltige Prozessabwässer
Die Seitenkanalpumpe SRZS bewährt sich u. a. in der Halbleiterfertigung als hochperformante Förderlösung für ammoniakhaltige Prozessabwässer (Bildquelle: SERO PumpSystems GmbH)
Eingesetzt wird die Baureihe SRZS in zahlreichen industriellen Aufbereitungsprozessen, beispielsweise in der Halbleiterfertigung eines global agierenden Chipherstellers, in der Ammoniak für die chemische Gasphasenabscheidung und für Plasmaätzprozesse eingesetzt wird.
Fördermengen bis 42 m³/h, Förderhöhen bis 550 m, ein breiter Medientemperaturbereich, NPSH-Werte ab 0,35 m und dazu noch tolerant gegen Gasbildung im Medium – die Seitenkanalpumpen der Baureihe SRZS überzeugen über die Abwasserbehandlung in der Halbleiterfertigung hinaus in einer Vielzahl industrieller und verfahrenstechnischer Anwendungen.
Seitenkanalpumpen in der Aufbereitung ammoniakhaltiger Abwässer
Aufbereitungsanlagen für ammoniakhaltige Abwässer werden eingesetzt, um den Ammoniakgehalt sowohl im wässrigen als auch im gasförmigen Prozessabwasser der Halbleiterfertigung auf ein niedriges Niveau zu bringen. Das Abwasser kann dabei neben einer Reihe von Verunreinigungen auch einen etwa 15%igen O2-Gasanteil aufweisen. Tägliche Abwasservolumina von mehreren hunderttausend Litern und ein 24-Stunden-Betrieb pro Tag mit jährlichen Betriebszeiten von 99,5 % und mehr stellen höchste Performanceanforderungen an die Seitenkanalpumpe SRZS. Sie sind bereits in einer Reihe von Halbleiterfertigungsanlagen im Einsatz und dort wesentlicher Bestandteil des sogenannten Stripping-Verfahrens. Bei diesem physikalischen Trennverfahren werden mehrere auf Skids montierte, zweistufige Stripper und Absorber eingesetzt, um eine effiziente und zuverlässige Entfernung von Ammoniak sowohl aus der Flüssig- als auch aus der Gasphase zu gewährleisten.
Quelle: SERO PumpSystems GmbH
