Badumwälzung von Säuren und Laugen mit der neuen SL 10

30.08.2002

Eine wichtige Einzelkomponente für die Badumwälzung von Säuren und Laugen in der Halbleiterindustrie ist die Pumpe. An ihre Zuverlässigkeit werden höchste Anforderungen gestellt. Im Gegensatz zu Industriepumpen muss bei der Konstruktion der Pumpen für hochreine Medien in der Chipfertigung vor allem die Partikelgenerierung und das "fail-safe"-Verhalten berücksichtigt werden.

Badumwälzung von Säuren und Laugen mit der neuen SL 10

(Quelle: Almatec)

Dabei darf auch im Falle des "größten anzunehmenden Unfalls" (Membranbruch, Dichtungsschäden) das Fördermedium in keinem Fall durch Kontakt mit normalerweise nicht produktberührten Bauteilen kontaminiert werden. Eine minimierte Partikelgenerierung und ein entsprechendes "fail-safe"-Verhalten kann nur durch einen besonderen Aufbau der Pumpe und die Verwendung geeigneter Materialien (absolute Metallfreiheit) erreicht werden.

Mit der SL 10 komplettiert ALMATEC das umfangreiche Pumpenprogramm FUTUR-PLUS für die Halbleiterindustrie. Es stehen in der PTFE-TFM Ausführung für Säuren und Laugen jetzt vier Baugrößen (SL 10, SL 20, SL 50, SL 100) zur Verfügung. Die neue SL 10 deckt mit einer max. Förderleistung von 10 l/min den unteren Leistungsbereich ab. Als trockenlaufsichere und selbstansaugende Druckluft-Membranpumpe wird die SL 10 vom Fördermedium innendurchströmt. D.h. das Fördermedium fließt durch das Zentralgehäuse, während Luftsteuersystem und Luftkammern außen angeordnet sind. Diese Konstruktion ermöglicht nur ein produktberührtes Gehäuseteil mit einer kleinstmöglichen Oberfläche, lediglich zwei Umlenkungen, keine aufeinander gleitenden Bauteile im Produktraum und den Verzicht auf Dichtungen. Das Ergebnis ist eine Minimierung der Partikelgenerierung.

Bei der Förderung von Säuren und Laugen ist für die Auswahl der Pumpe die Korrosionsbeständigkeit ein wesentliches Kriterium. Die Gehäusebauteile der SL 10 bestehen aus PTFE-TFM, das eine universelle chemische Beständigkeit aufweist. Gegenüber dem normalen PTFE hat PTFE-TFM den Vorzug höherer Festigkeit und Oberflächendichte. Bauteile aus diesem Werkstoff sind außerordentlich glatt und porenfrei, was der Partikelgenerierung entgegen wirkt. Die SL 10 ist absolut metallfrei und kann für alle Temperaturbereiche bis 200°C eingesetzt werden.

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