Pfeiffer Vacuum zeigt innovative Vakuumlösungen
„Wir freuen uns, auf den Messen Semicon Korea und Semicon China wichtige neue Vakuumlösungen vorzustellen. In einem sich zunehmend verändernden Wettbewerbsumfeld steht Pfeiffer Vacuum als grundsolides Unternehmen optimal da, um als langfristiger und zuverlässiger Komplettanbieter von Vakuumtechnologie für alle Kunden weltweit in Aktion zu treten“, so Eric Taberlet, Geschäftsführer der Business Unit Semiconductor & Coating.
Turbopumpe HiPace 2800 IT von Pfeiffer Vacuum (Image: Pfeiffer Vacuum GmbH)
Ölfreie Prozesspumpen A4-Serie
Die ölfreien, mehrstufigen Wälzkolbenpumpen der A4-Serie bieten ein Saugvermögen von 100 bis 2.300 m3/h. Diese energieeffizienten und zuverlässigen Pumpen sind ideal für den Einsatz in anspruchsvollen Prozessen der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie. Dank korrosionsresistenter Materialien und eines hohen Gasdurchsatzes ist die Pumpenserie beispielsweise optimal für die Anwendung in CVD-Prozessen geeignet.
Turbopumpe HiPace 2800 IT
Mit der HiPace 2800 IT präsentiert Pfeiffer Vacuum eine speziell für Anwendungen zur Ionenimplantation geeignete Turbopumpe. Das ausgereifte Rotordesign der Turbopumpe gewährleistet ein optimales Saugvermögen für leichte Gase. Dadurch ist eine ausgezeichnete Anpassung bei Ionenimplantationsprozessen sichergestellt, bei denen hauptsächlich Wasserstoff anfällt. Mit einem Saugvermögen für Wasserstoff von 2.750 l/s ist die neue HiPace 2800 IT die führende Turbopumpe in ihrer Klasse.
Das intelligente Temperaturmanagement verhindert Kondensation und Ablagerung im Pumpensystem und gestattet eine individuelle Temperatureinstellung zur optimalen Prozessunterstützung. Die spezielle Hochleistungsbeschichtung des Rotors bietet Stabilität gegenüber allen Stoffen, die in Ionenimplantationsprozessen auftreten. Dank der sogenannten Hybridlagerung, einer Kombination aus Keramik- Kugellagern auf der Vorvakuumseite mit permanentmagnetischen Radiallagern auf der Hochvakuumseite, verfügen die HiPace Turbopumpen über einen äußerst robusten Lageraufbau. Dieser bildet zusammen mit der effizienten Beschichtung die Grundlage, für die lange Lebensdauer der Pumpen und eine maximale Verfügbarkeit.
Magnetgelagerte Turbopumpen ATH 2804 M und ATH 3204 M
Die ATH-M Turbopumpen erreichen einen Gasdurchsatz von über 5.000 sccm für Stickstoff bei unbeheizten Anwendungen. Darüber hinaus bieten sie mit 1.500 sccm einen sehr hohen Durchsatz für Argon sowie eine Pumpenbetriebstemperatur von 65 °C bei korrosiven Anwendungen. Die Pumpen können mit hohen Temperaturen von bis zu 85 °C für höchst aggressive Anwendungen und sensible Prozesse eingesetzt werden, bei denen Nebenproduktablagerungen kritisch sind. Sie sind mit integrierten Antriebselektroniken ausgestattet und verfügen dadurch über eine kleine Aufstellfläche und eine einfache Plug-and-Play-Installation. Die Gesamthöhe des Modells mit DN 320 Flansch beträgt weniger als 400 mm. Dank der neuen Elektronik können die Pumpen innerhalb von 8 Minuten gestartet und gestoppt werden. Die aktiven Magnetlager sorgen für einen verschleißfreien und durch eine automatische Unwuchtkompensation für einen vibrationsarmen Lauf der Pumpen. Sie sind wartungsfrei und kommen ohne Schmiermittel aus. Dadurch sind eine kontinuierliche Stabilität des Rotors und ein zuverlässiger Betrieb gewährleistet. Für die neuen ATH-M Pumpen sind daneben ein niedriger Energieverbrauch bei Nenndrehzahl und der sehr geringe Kühlwasserverbrauch (1 l/min) kennzeichnend.
Quelle: Pfeiffer Vacuum GmbH
