Erweiterung der Turbopumpen HiPace

Hohes Saugvermögen.

Sie zeichnen sich durch hohes Saugvermögen für leichte (H2, He) und schwere Gase (Ar, CF4) aus. Auch bei schweren Gasen erreichen sie hohe Durchsätze. Das breite Spektrum von Anwendungen umfasst nicht nur die Photovoltaik und die Halbleitertechnik, sondern auch die Beschichtung von Architekturglas und Brillengläsern, sowie den Einsatz in industriellen Anwendungen wie dem Ofenbau. Die Industrietauglichkeit wird durch Schutzart IP 54 und den SEMI S2 Standard sichergestellt.

Intelligent. Flexibel. Effizient.

Die HiPace Turbopumpen überzeugen durch hohe Wirtschaftlichkeit und Flexibilität. Integrierte Antriebselektroniken ermöglichen den direkten Netzbetrieb und reduzieren aufwändige Verkabelungen. Zudem sind bei gleichem Bauvolumen verschiedene Antriebsvarianten inklusive Profibus und DeviceNet erhältlich. Durch innovative Materialien wurde die Lebensdauer der Antriebe verdoppelt. Die Hochlaufzeit wurde deutlich reduziert. Somit sind die Pumpen noch schneller einsatzbereit. Remote- und Sensorikfunktionalitäten erlauben, Daten wie zum Beispiel Temperaturen auszuwerten. Das funktionelle Aluminiumgehäuse macht die Pumpen extrem leicht. Ein Sperrgasanschluss schützt die Lager vor Partikeln oder reaktiven Gasen. Dies führt zu einer optimalen Integrationsfähigkeit. Die HiPace Serie erreicht mit dem ausgereiften Rotordesign und einer präzisen Sensorik das höchste Sicherheitsniveau im Markt. Durch das Servicekonzept von Pfeiffer Vacuum in Verbindung mit dem innovativen Design werden sehr geringe Betriebskosten erreicht.