Neues elektromotorisch betätigtes Regelventil
Elektromotorisch betätigtes Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine für hochreine Prozesse. (Bildquelle: GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KG)
Das 2/2-Wege Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde für präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt. Das Dichtprinzip des Ventils beruht auf der bewährten GEMÜ PD-Technologie, bei der Antrieb und Medium durch einen konusförmigen Regelkegel aus beständigem PTFE getrennt werden. Da Regelkegelkontur, Antriebshub und Anschlussgrößen kundenspezifisch angepasst werden können, erfüllt GEMÜ C53 iComLine nahezu alle Regel- und Durchflussanforderungen der hochtechnologischen Halbleiterindustrie. Durch die Kombination des präzisen Schrittmotors mit hochreinen Körperwerkstoffen eignet sich das Ventil insbesondere für Lithographie-, CMP-, und Ätzprozesse sowie für Anwendungen im Analytik-Bereich in jeder Halbleiterfertigung.
Das Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine kann dabei nicht nur als einfaches Durchgangsventil verbaut werden. Eine Integration in einen M-Block GEMÜ PC50 iComLine ist ebenfalls möglich um komplexe Fließschemen auf minimalem Raum zu realisieren. Bei der Bearbeitung von Silizium-Wafern kann ein Mehrwegeventilblock beispielsweise in FOUP-Cleaner zur Temperaturregelung des DI-Wassers eingesetzt werden. Dazu können in den M-Block GEMÜ PC50 iComLine Rückschlagventile und Sensoren integriert werden.
