Erweiterung der digitalen Vakuummessgeräte

27.08.2007

Pirani- und Kaltkathoden-Sensor kombiniert.

Der neue Transmitter MPT 100 erweitert die bestehende Reihe der Pfeiffer Vacuum Vakuummessgeräte DigiLine.

Erweiterung der digitalen Vakuummessgeräte

Pfeiffer Vacuum GmbH

Die Kombination eines Pirani- und eines Kaltkathoden-Sensors ist kompatibel mit den existierenden Steuergeräten und Zubehörteilen. Die Vorteile dieser Kombination sind ein weiter Messbereich von 5 x 10-9 bis 1000 mbar und die Unempfindlichkeit gegen Gaseinbruch. Die beiden Sensoren sind so aufeinander abgestimmt, dass es zu keiner Verschmutzung kommen kann. Aus diesem Grund ist die MPT 100 auch für Beschichtungsanlagen geeignet.

Kaltkathoden sind zudem wesentlich robuster als Heißkathoden.

Digitale Messung bringt Vorteile

Dank der Digitaltechnik besteht die Möglichkeit des Ein- und Ausschaltens des Kaltkathoden-Sensors über einen externen Software-Befehl. Dadurch wird eine Beeinflussung des Vakuumprozesses vermieden. Aufgrund der Digitaltechnik erreicht die Kaltkathode eine Genauigkeit, die bisher nur von Heißkathoden bekannt war.

Schnittstellenoptionen

Es besteht die problemlose Kombinationsmöglichkeit mit Pfeiffer Vacuum Vorpumpen, Turbopumpen oder Lecksuchern über die Schnittstelle RS-485. Optional kann durch einen Feldbuskonverter eine Profibus- oder DeviceNet-Schnittstelle zur Verfügung gestellt werden.

Über Pfeiffer Vacuum

Moderne Technik braucht moderne Vakuumtechnologie!

Ob wir eine Brille tragen, ein Fernsehgerät besitzen, am PC arbeiten oder ein Auto fahren: Von der Vakuumtechnologie profitieren wir alle. Die Herstellung von Halbleitern, CDs und DVDs, Wärmeschutzglas, Brillen sowie die Beschichtung von hochbelastbaren mechanischen Werkzeugen sind nur einige Anwendungsbeispiele für Vakuumtechnologie. Auch in der Forschung, Raumfahrt, Analytik und Umwelttechnik spielt Vakuum eine wichtige Rolle. Für Pfeiffer Vacuum als Hersteller von Komponenten und Systemen zur Vakuumerzeugung, -steuerung und -messung ergeben sich daraus stets neue Vakuumanwendungen und neue Märkte mit hohem Wachstumspotenzial.

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