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26.05.2003

Neue magnetgelagerte Turbopumpe

HiMagTM (photo: Pfeiffer Vacuum)

Pfeiffer Vacuum, der Erfinder der Turbopumpe, hat eine neue
magnetgelagerte Turbopumpe mit integrierter Antriebselektronik
entwickelt.

Nomen est Omen. Der Name HiMag(TM) weist auf die einmaligen technischen Leistungsdaten hin:

  • hohes Saugvermögen von 2100 l/s für N2
  • hohes Kompressionsverhältnis
  • und hoher Gasdurchsatz (High)
  • mit einer magnetgelagerten Turbopumpe (Mag).


Mit der HiMag wird durch das neue Rotordesign ein hohes Kompressionsverhältnis für leichte Gase (1x104 für H2) und gleichzeitig ein hoher Argondurchsatz (2500 sccm) erreicht.

Sicher und zuverlässig
Die kompakte und robuste Bauweise der Pumpe bietet hohe Sicherheit und Zuverlässigkeit. Eine permanente Rotorüberwachung über Sensorik unterstützt den stabilen Betrieb der Pumpe in jedem Betriebszustand. Durch die 5-achsig aktive Magnetlagerung werden Vibrationen auf ein Minimum reduziert. Die Magnetlager sind so ausgelegt, dass die HiMagTM selbst nur geringe magnetische Störfelder erzeugt. Auch in Magnetfeldern > 10 mT, die von außen auf die Pumpe einwirken, ist der Betrieb sicher. Der Einsatz in Ionenimplantern und Elektronenstrahlanlagen ist somit problemlos möglich. Durch das geringe Trägheitsmoment des Rotors und das stabile Gehäuse wird ein Höchstmaß an Sicherheit erreicht. Die HiMagTM erfüllt die Halbleiterindustrienormen Semi S-2 (Sicherheit), F-47 (Stromausfall) und E-74 (mechanisches/ elektrisches Interface).

Kostengünstiger Einsatz in allen Vakuumprozessen
Die HiMag kann in allen Vakuumprozessen eingesetzt werden. Da die hohe Vorvakuumverträglichkeit ohne Holweck- oder Gaedestufe erreicht wird, ist der Einsatz auch in kritischen Prozessen (Partikelbelastung, hohe Gaslasten, korrosive Gase) sichergestellt. Die maximale Vorvakuumverträglichkeit von bis zu 3 mbar bei Argon und Stickstoff und 0,5 mbar bei Wasserstoff erlaubt den Einsatz von kleinen, kostengünstigen Vorpumpen.
Durch ein patentiertes Prinzip ist ein Fluten aus voller Drehzahl in den Stillstand schon in 1,5 Minuten möglich. Nur Turbomolekularpumpen von Pfeiffer Vacuum erlauben diese kurzen Zykluszeiten, wodurch im Wartungsfall höchste Uptime bei geringsten Kosten erzielt wird.

Integrierte Antriebselektronik
Das neue Antriebssystem TM 3000 bildet mit der Vakuumpumpe eine Einheit. Pumpe und Controller müssen nicht aufeinander abgestimmt werden. Teure Kabel entfallen und ein separater Schaltschrankplatz für die Antriebselektronik ist nicht notwendig. Die Wasserkühlung der Antriebselektronik garantiert den zuverlässigen Betrieb. Die Pumpe ist vor Staub und Spritzwasser geschützt (Industriestandard IP 54).

Leistungsstarker Motor
Durch den starken 1200 Watt Motor hat die HiMagTM eine sehr kurze Hochlaufzeit. In nur sechs Minuten erreicht sie 100 % Nenndrehzahl. Gleichzeitig ist eine schnelle Drehzahlanpassung an bestimmte Prozessparameter mit dem leistungsstarken Antrieb der HiMag möglich.

Bild: HiMagTM (photo: Pfeiffer Vacuum)

Quelle: Pfeiffer Vacuum

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