Pfeiffer Vacuum stellt energiesparende Trockenläufer vor
Die Trockenläufer A 100 L mit ihren kompakten Abmessungen wurden speziell zur flexiblen Integration in Halbleiterproduktionsanlagen entwickelt. Diese ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen sind ideal für saubere Anwendungen wie Schleusen- und Transferkammern sowie für alle anderen nicht korrosiven Anwendungen.
Trockenläufer A 100 L ES (Foto: Pfeiffer Vacuum)
Trotz ihrer geringen Abmessungen bieten diese Pumpen ein hohes Saugvermögen und kurze Abpumpzeiten. Heute sind die A 100 L Pumpen weltweit in allen führenden Halbleiterfabriken installiert. Die Pumpen sind für den Betrieb im Reinraum geeignet.
Die Weiterentwicklung A 100 L ES bietet bis zu 50 Prozent niedrigeren Energieverbrauch (ES = Energy Saving). Im niedrigen Druckbereich ist das Saugvermögen deutlich erhöht. Weitere Vorteile sind ein niedrigerer Enddruck und ein reduzierter Geräuschpegel. Durch das innovative und komplett integrierte ES-Modul verringert sich der Energieverbrauch auf ein Minimum im niedrigen Druckbereich. Dies reduziert die Betriebskosten deutlich. Zur Veranschaulichung: Die jährlichen Einsparungen pro Pumpe betragen bis zu 7.900 kWh. Dies entspricht 3,9 Tonnen CO2. Auf einer Ebene mit 1.300 Schleusenpumpen innerhalb einer typischen Halbleiterfabrik (Fab) für 300-mm-Wafer beträgt die Energieeinsparung bis zu 10 GWh. Dies entspricht rund 360.000 Euro oder 5.100 Tonnen CO2 pro Jahr.
Neben der Energieeinsparung kann die A 100 L ES einen Enddruck von 7x10-4 mbar (hPa) erreichen. Somit eröffnen sich neue Möglichkeiten für Anwendungen, die eine höhere Pumpenleistung bei geringem Druck erfordern. Zudem verringert sich der Geräuschpegel von 58 dB (A) auf 55 dB (A). Mit der A 100 L ES wird die Produktfamilie der energiesparenden Prozesspumpen der Serien A3P für mittelschwere und A3H für anspruchsvolle Anwendungen vervollständigt.
Quelle: Pfeiffer Vacuum GmbH
